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名稱： TF1200CVD管式爐

型號(hào)： TF1200

簡(jiǎn)介： TF1200CVD系統(tǒng)產(chǎn)品主要針對(duì)在真空或者保護(hù)氣氛下對(duì)樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性；產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口，可通入保護(hù)氣體，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

CVD可編程30段

技術(shù)參數(shù)
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實(shí)驗(yàn)案例
客戶案例

TF1200CVD系統(tǒng)產(chǎn)品主要針對(duì)在真空或者保護(hù)氣氛下對(duì)樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性；產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口，可通入保護(hù)氣體，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結(jié)構(gòu)，高溫不變形、堅(jiān)固耐用

2、發(fā)熱體采用高溫合金絲，可承受負(fù)荷大，穩(wěn)定且使用壽命長(zhǎng)

3、爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、合理、易拆卸，方便進(jìn)出被燒結(jié)樣品

4、升溫速度快，從室溫升到1000攝氏度，一般需要15-30分鐘

5、采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補(bǔ)償和溫度校正功能，精度為±1℃

6、控溫儀表具有程序功能，可設(shè)定升溫曲線，可編程序30段

7、一體式結(jié)構(gòu)，出色的外觀設(shè)計(jì)，美觀、大方

8、電子元器件均采用知名產(chǎn)品，帶有漏電保護(hù)功能

9、本機(jī)對(duì)工作過程中的超溫會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作

10、當(dāng)儀表程序設(shè)定完成后，只要按下運(yùn)行按鈕，接下來的工作會(huì)自動(dòng)完成

11、可選配大屏幕無紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

12、可選配氣體質(zhì)量流量計(jì)，通入氣體可數(shù)字精確控制

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	TF1200-25-12	TF1200-40-12	TF1200-60-12	TF1200-80-12	TF1200-100-12	TF1200-120-12
爐管尺寸	Φ25x900mm	Φ40x900mm	Φ60x900mm	Φ80x900mm	Φ100x900mm	Φ120x900mm
額定溫度	1200
工作溫度	1100
加熱區(qū)尺寸	300mm
電源電壓	220V/1.8KW	220V/1.8KW	220V/2.6KW	220V/2.6KW	220V/2.6KW	220V/5KW
加熱元件	HRE合金電阻絲
爐膛材料	濕法真空抽濾成型制備的多晶無機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料
爐管材料	石英管
控溫精度	±1℃
測(cè)溫元件	N型熱電偶
溫控儀表	智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序30個(gè)時(shí)段，程序升溫、程序保溫、程序降溫
升溫速度	1-25℃/min自由調(diào)節(jié)
爐體結(jié)構(gòu)	爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)，爐膛開合式；雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱
密封性能	爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進(jìn)行工作，密封真空度≤0.0001pa
氣氛性能	法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，可通入氮?dú)?、氬氣、氫氣等保護(hù)氣體
真空系統(tǒng)	配套獨(dú)立的真空系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)配有1臺(tái)雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計(jì)，包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件，系統(tǒng)真空度≤5pa，還可以選擇分子泵機(jī)組
氣路系統(tǒng)	配套獨(dú)立的氣路系統(tǒng)，系統(tǒng)有三路浮子流量計(jì)組成，有混氣室，可單進(jìn)單出也可三路氣體混氣后進(jìn)入管式爐系統(tǒng)，浮子流量計(jì)量程：60-600ml/min；可選擇自動(dòng)質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，控制精度±1.5%FS，重復(fù)精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM
設(shè)備保護(hù)	模塊化控制，對(duì)工作過程中的超溫、斷偶會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作
人員保護(hù)	在設(shè)備上裝有空開斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時(shí)會(huì)自動(dòng)彈開，能保護(hù)設(shè)備和操作人員
標(biāo)準(zhǔn)配置	1、爐體一臺(tái) 2、溫度控制器一臺(tái) 3、電源線3米 4、熱電偶一支 5、說明書一份6、爐鉤一把 7、高溫手套一雙 8、管堵二個(gè) 9、密封法蘭一套

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